簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="微波電漿輔助氣相沉積"


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    製備與研究奈米鑽石薄膜沉積於矽及鈮酸鋰基板
    • /93/ 碩士
    • 研究生: 林永欽 指導教授: 陳貴賢 林麗瓊 林舜天
    • 在本論文中,我們研究使用微波輔助化學氣相沉積系統來成長奈米鑽石薄膜於矽及鈮酸鋰基板上,藉由控制溫度、氣體組成及成長壓力,我們可得到表面平坦且品質良好的鑽石薄膜。 鈮酸鋰有很高的機電耦合係數,和奈米鑽…
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    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校內網路)
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    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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